동부, 반도체공정 6개월 단축기술 개발

동부일렉트로닉스가 90나노미터급 제조 공정기술에 적용할 수 있는 OPC기술을 개발했습니다.
OPC기술은 반도체 설계회로를 웨이퍼 기판위에 그려넣는 포토공정에서 굴절 등 왜곡 현상을 보정해주는 기술입니다.
동부일렉은 새 기술을 적용하면 1년이상 걸리는 공정기술 개발 시간을 최대 6개월 이상 단축시킬 수 있을 것으로 기대하고 있습니다.