올림푸스, 반도체·FPD 검사용 현미경 `MX63·MX63L` 출시

올림푸스한국(대표 오카다 나오키)은 관찰 성능을 개선한 반도체?평판디스플레이(FPD) 검사용 산업현미경 'MX63·MX63L'을 출시한다고 24일 밝혔다.
반도체·평판디스플레이 검사용 산업현미경은 반도체 소자나 평판디스플레이의 신뢰성과 완성도를 높이기 위해 사용된다. 대상의 결함이나 형광 물질 등을 검출하고 미세 구조와 색상 정보 등을 확인할 때 쓰인다.
MX63과 MX63L은 색 재현율을 향상한 LED 광원, 초점 성능을 높여주는 포커스 에이드 기능을 채택했다. 또 명시야, 형광, 편광 관찰을 암시야 관찰과 조합하는 올림푸스 고유의 MIX 관찰법을 새로 도입해 관찰 성능을 향상했다.
MX63은 웨이퍼 직경 최대 200mm까지 관찰 가능하며, MX63L은 최대 300mm까지 가능하다.
전종철 올림푸스한국 사이언스솔루션사업본부장은 "초미세 공정을 기반으로 하는 반도체나 평판디스플레이 분야는 눈에 띄지 않는 세세한 부분까지 정확히 확인하는 것이 필수적"이라며 "올림푸스의 신기술이 집약된 산업현미경이 다방면에서 활용되어 한국 반도체 산업의 신뢰성과 정확도를 높이는 데 도움이 되길 바란다"고 말했다.
[디지털뉴스국 최기성 기자]