엘오티베큠, 250억 규모 신규 국책과제 2건 수주

엘오티베큠은 반도체공정용 진공펌프 및 디스플레이 반도체 공정장비용 초고진공 터보분자펌프 개발 등 2건이 올해 신규 국책과제에 선정됐다고 7일 밝혔다 .
소재부품기술사업으로 반도체 공정용 진공펌프 개발에 총사업비 161억 규모로 정부출연금은 약 100억원이다.
동 사업은 공정 부산물 이송 능력이 향상되며 기존 대비 약 10% 이상 운전 소비 전력이 저감되는 CVD공정용 드라이펌프 및 불소계 부식성 공정가스에 대한 내부식성이 향상된 저소비전력, 소형 ETCH공정용 드라이펌프 개발을 목표로 하고있다.
기계산업 핵심기술개발사업으로 디스플레이 반도체 공정장비용 1.3E-8mbar이하 초고진공 터보분자펌프 기술개발에 총 사업비 약90.2억 규모로 정부출연금은 60억원이 들어간다.
회사는 반도체 및 디스플레이 공정장비에 필요한 1E-8mbar 이하의 고진공을 만들기 위해 다단의 블레이드 로터를 자기부상 베어링을 활용해 고속 회전 시킨 후 기체 분자를 배기하는 디지털 제어 방식의 터보분자펌프의 상품화 기술 개발을 목표로 하고 있다.
[디지털뉴스국 김규리 기자]