일본산 포토레지스트 21일 항공편 반입

일본 정부가 지난달 한국에 대한 반도체·디스플레이 핵심 3개 소재(포토레지스트, 불화수소, 플루오린폴리이미드)에 대한 수출 규제 강화 방침을 발표한 이후 처음으로 일본산 포토레지스트가 21일 국내로 반입된 것으로 알려졌다.
22일 반도체 업계 등에 따르면 일본산 포토레지스트가 지난 21일 항공편을 통해 국내에 반입된 것으로 알려졌다. 이는 삼성전자의 주문을 받은 한 일본 업체의 수출 신청에 대해 일본 정부가 이달초 처음으로 허가 결정을 내린 물량으로 전해졌다. 일본 정부가 지난달 4일 수출규제 강화 조치를 공식 발효한 지 49일 만에 일본산 포토레지스트가 처음 국내로 반입된 셈이다.
EUV용 포토레지스트는 일본 신에츠화학과 JSR이 생산해 삼성전자에 공급해왔다. 삼성전자는 이번에 들어온 물량을 파운드리 생산시설인 경기도 화성캠퍼스 S3 라인의 EUV 기반 최첨단 공정에 투입할 것으로 전해졌다.다만 이 물량이 약 3개월치로 알려진 1차 허가분의 전부인지 일부인지는 확인되지 않았다.
업계에서는 최근 일본 정부가 포토레지스트 수출을 두번째로 허가한 것으로 확인되면서 삼성전자는 최대 9개월치를 확보해 당분간 EUV 라인 가동에는 문제가 없을 것이라는 관측도 나온다. 앞서 미국 블룸버그 통신은 지난 21일 JSR이 일본 당국으로부터 삼성전자에 대해 포토레지스트 수출을 허가받았고 이는 5∼6개월치 물량이라고 보도한 바 있다.

반도체 업계에서도 1차 수출 허가는 신에츠(信越)화학이, 2차 허가는 JSR이 각각 받았다는 추측이 나오는데, 삼성전자는 "고객사 관련 사안은 확인이 어렵다"는 입장이다. 일본의 소재 업체들은 한일 갈등 격화에 따른 일본 정부의 수출 규제로 인해 한국에 대한 수출길이 막히자 경영난 우려를 호소하며 삼성전자 등 국내 업체들에 협조를 요청하고 있는 것으로 알려졌다. 반도체 업계 관계자는 "EUV용 포토레지스트 같은 경우에는 물량을 받을 수 있는 곳이 삼성전자와 대만 TSMC정도 밖에 없는데, 해당 소재 개발에 막대한 돈을 쏟아부은 일본 업체들 입장에서는 발등에 불이 떨어진 격"이라고 말했다.
한편 고순도 불화수소(HF)와 플루오린 폴리이미드(FPI)는 단 한건도 수출 허가를 받지 못한 것으로 알려졌다.
[황순민 기자]