국일그래핀, 8인치 실리콘 웨이퍼에 그래핀 합성 성공

국일제지 자회사가 4인치 웨이퍼 그래핀에 이어 8인치 개발에도 성공했다.
특수지 전문기업 국일제지는 자회사 국일그래핀이 윤순길 충남대 교수팀과 공동연구로 150℃이하 저온에서 무전사 직접 CVD 방식을 통해 8인치 대면적 실리콘 웨이퍼 위에 단층(monolayer) 그래핀 합성에 성공했다고 29일 밝혔다.
국일그래핀 관계자는 "8인치 플라즈마 CVD 장치에 티탄을 버퍼층으로 한 저온 무전사 방식으로 낮은 온도에서 그래핀을 합성한 것"이라며 "분석장비를 통해 8인치 실리콘 웨이퍼에 단층 그래핀이 성공적으로 증착된 것을 확인했다"고 말했다.
국일그래핀이 발명한 신소재 그래핀 제조기술은 지난달 미국 특허 등록을 완료한 바 있다. 이 기술은 전사 과정을 거치지 않는 무전사 방식으로 그래핀 박막을 형성해 고품질 그래핀을 만드는 방법이다. 투명 전극, 반도체 디바이스 등의 전극 소자에 적용돼 접는 OLED, 유연 터치패널, 태양전지 전극 등에 사용될 수 있는 장점을 갖는다.
이 관계자는 "이번 8인치 실리콘 웨이퍼 그래핀 합성 성공으로 인해 향후 그래핀이 웨어러블, 태양전지, 이차전지, 배터리 등 다양한 분야의 소재로 활용도가 더 넓어질 것"이라며 "더불어 PET 등 플렉시블 소재에서도 8인치 이상 대면적으로 박막 그래핀 합성을 진행 중"이라고 덧붙였다.
[디지털뉴스국 김경택 기자]