필옵틱스, 국내 최초 UV-LED DI 노광기 양산

이차전지 및 OLED 레이저 공정 장비 선도기업 필옵틱스는 국내 최초로 자외선(UV) 발광다이오드(LED) 광원을 적용한 다이렉트 이미징(Direct Imaging, 이하 DI) 노광기를 양산한다.
수입에 의존하던 초미세패턴용 노광 공정에 국산 장비를 확대할 수 있는 길이 열렸다는 평가다.
필옵틱스 관계자는 "관련 모듈을 몇차례 납품한 경험은 있으나, PCB용 UV-LED DI 노광기 완제품 양산 적용은 처음이며, 이는 국내 최초"라며, "현재 양산화를 진행할 고객사는 확보했으며 판로 확대를 위해 여러 업체에 양산 검증을 진행할 계획"이라고 말했다.
DI 노광은 포토마스크(Photo Mask) 없이 기판 위에 피노광층을 직접 노광하는 기술이다. 초미세회로 선폭을 구현하고 공정을 줄여 원가를 절감하는 장점과 광효율성이 높은 UV-LED 광원을 접목함으로써 에너지 사용량을 절감하고 광원의 교체 주기를 길게 유지하는 장점이 있다.
[디지털뉴스국 김경택 기자]